| |
Bir
gaz [ örn. heksametildisiloksan (HMDSN),
heksametildisilazan (HMDSN), tetraetilenglikol-dimetil eter,
C2F6 ...] plazma hücresine iletilir. Plazma
polimerizasyonu sayesinde yüzeyden katmanlar
ayrılır.
Kullanımlar plasma coating:
- Hidrofob katmanların ayrılması
- Hidrofobil katmanların ayrılması
- Örn. difüzyon blokajının kullanılması
|
