1. Kumanda dolabı G 550 mm x Y 330 mm x D 500 mm Ağırlık: yakl. 30 kg (Pompasız) 2. Plazma hücresi Çap: 130 mm Uzunluk: 300 mm Materyal: Borosilikat veya kuvars cam Hacim: yakl. 4 litre 3. Gaz girişi 2 tane iğneli valf üzerinden gaz girişi 4. Plazma jeneratörü 40 kHz / 200 W (basamaksız ayarlama özellikli) veya 13,56 MHz / 100 W (basamaksız ayarlama özellikli) 5. Elektrot Cam hücrenin dışında Sığal baglaşım 6. Kumanda Yarı otomatik, İslem süresi zamanlayıcı üzerinden ayarlanıyor 7. Bağlantılar Gaz: 6mm Swagelok Gerilim beslemesi: 220-240V / 16 A 50-60 Hz 8. Vakum pompası Döner itici pompa Emme gücü: 2,5 m3/h Pompa O2 ile calıştırılmaya uygundur
Gerek tarama gerek transmisyon elektron mikroskopları için hazırlanan örnekler ve örnek tutucular plazma ile temizlenmektedir. Çogu zaman 15 dakikalik bir plazma-oksijen uygulaması yeterli olabilmektedir. Böylece tüm organik bağlantılar (yağ, kül vb.) ve organik pislikler temizlenebilmektedir. Plazma makinelerinin kullanımı oldukça kolaydır. Tarama ve transmisyon elektro mikroskoplarındaki hata kaynakları yüksek oranda düşürülmekte ve örneklerin mıkroskop altında durma süreleride önemli derecede azalmaktadır. İşlemgazı olarak oksidasyona duyarlı örneklerde oksijenin yanında hidrojende kullanılabilmektedir. İletken olmayan örnekler özellikle taramalı elektron mikroskoplarındaki uygulamalarda elektrostatik yüklenmenin önlenmesi için ince bir yalıtkan tabaka ile kaplanması gerekmektedir. Bu tür kaplamalar Sputter tipi aletlerle altın veya buharlaşma yöntemiyle karbon ile yapılabilmektedir. Transmisyon elektron mikroskoplarında örneklerin değişik işlemlerle 1 µ kalınlığına getirilmesi gerekmektedir. Bu durumda kullanılan pratik bir metot ise iyon yakma metotodudur ve burada örnek bir iyonışını ile yakılması ve aşınması sağlanmaktadir. 80'li yıllarda ortaya çıkan asbest problemi sonucunda plazma teknolojisi tarama ve transmisyon elektron mikroskoplarında kullanılmaya başlandı. Böylece asbest analizi geliştirildi. Bu metot yardımı ile karbon bileşenleri plazma küllendiricilerinde küllendirilmekte ve bunun sonucunda geriye kalan asbest lifleri elektron mikroskoplarında görülebilir ve analiz edilebilir hale getirilmektedir. Plazma teknolojisi genel polimer analizindede çok iyi bir şekilde kullanılabilmektedir. Böylece cam elyafları ve benzeri anorganik dolgu maddeleri kolayca ortadan kaldırılabilmektedir. Bu durumda polimerler küllendirilmekte. Bu nedenle bu işleme plazma küllendirimi denilmektedir. Seramik teknolojisinde ise hasar tesbiti için Si3N4 örnekleri yakılmaktadır. Diener electronic TEM örnek tutucu temizlemeden asbest küllemeye, Seramiğin Si3N4 ile yakılmasından polimer analizine kadar tüm gereksinimler için doğru makina konseptini sizlere sunmaktadır.
