| |
Технические характеристики:
Plasma cleaner TETRA-30-LF-PC
Шкаф распределительного устройства:
Ш 600 мм, В 2200 мм, Г 850 мм
Камера:
Ш 305 мм, В 300 мм, Г 370 мм
(опционально: Г 625 мм)
Объем камеры:
~ 34 литра
Подвод газа:
3 регулятора расхода через MFC
Генератор:
40 кГц/0-1000 Вт
(по заказу: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Комплектация:
До 6 ярусов(до подложек для обрабатываемых образцов)
(опционально: вращающийся барабан)
Управление:
через ПК под Windows
ОПЦИИ / ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК |
|
„Plasma system TETRA-30-LF-PC“ с системой компьютерного управления. Предназначен для очистки, активации, травления |
