| |
Технические характеристики:
Plasma cleaner TETRA-30-LF
Шкаф распределительного устройства:
Ш 600 мм, В 800 мм, Г 650 мм
Камера:
Ш 305 мм, В 300 мм, Г 370 мм
(по заказу: Г 625 мм)
Объем камеры:
~ 34 литра
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор:
40 кГц /0-1000 Вт
(опционально: 13,56 МГц или2,45 ГГц)
Вакуумный насос:
Leybold, тип D16B (16 м³/ч)
Комплектация:
До 6 ярусов(до подложек для обрабатываемых образцов)
(опционально: вращающийся барабан)
Управление:
автоматическое, время устанавливается таймером
ОПЦИИ / ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК
|
|
plasma system „TETRA-30-LF“ установка с автоматическим управлением. Предназначена для очистки, активации и травления |
