| |
Технические характеристики:
Plasma cleaner PICO
Шкаф распределительного устройства:
Ш 550 мм, В 330 мм, Г 500 мм
Камера:
Ø 150 мм, Г 320 мм
Объем камеры:
~ 5 литров
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор:
40 кГц / 200 Вт, бесступенчатый
(опционально: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Вакуумный насос:
Leybold, тип Trivac D5B (5 м³/ч)
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.
Управление:
Ручное, время устанавливается таймером
ОПЦИИ / ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК
|
|
Малогабаритная установка „plasma system PICO“: исследовательские работы, очистка, травление, оптика, лазерная техника
|
