Технические характеристики:
plasma cleaner Femto
Шкаф распределительного устройства:
Ш 345мм, В 220мм, Г 420мм
Камера:
Ø 100 мм, Г 270 мм
Объем камеры:
~ 2 литра
Подвод газа:
1 регулятор расхода газа с игольчатым клапаном
Генератор:
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый
Вакуумный насос:
Leybold, тип S1,5 (1,5м³/ч)
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.
Управление:
Ручное, время устанавливается таймером
ОПЦИИ / ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК
|
|
Plasma system FEMTO: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
|
