| |
В плазменную камеру вводится газ [например, гексаметилдизилоксан (HMDSN), гексаметилдисилацан (HMDSN), тетраэтиленгликоль-диметил эфир, C2F6 и др.]. Плазменная полимеризация ведет к отделению поверхностного слоя.
Применение plasma coating:
- Удаление гидрофобных слоёв
- Удаление гидрофильных слоёв
- Блокировка диффузионных процессов
|
