ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ – СТАНДАРТНЫЕ УСТАНОВКИ - STANDARD PLASMA SYSTEMS

Технические характеристики:
Plasma etcher TETRA-30-LF-PC

Шкаф распределительного устройства:
Ш 600 mm, В 2.200 mm, Г 850 mm
Камера:
Ш 305 mm, В 300 mm, Г 370 mm
(опционально: D 625 mm)
Объем камеры:
~ 34 литра
Подвод газа:
3 канала подвода газа с электронной регулировкой (MFC)
Генератор:
40кГц/0-1000 Вт
(опционально: 13.56 МГц или 2.45 ГГц)
Комплектация:
до 6 ярусов(до 6 подложек для обрабатываемых образцов)
(опционально: вращающийся барабан)
Управление:
ПК управление(Windows)

ОПЦИИ / ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК