| |
Dane techniczne:
Plasma etcher TETRA-100-LF-PC
Szafa rozdzielcza:
szer. 600 mm, wys. 2.200 mm, gl. 800 mm
Komora:
szer. 400 mm, wys. 400 mm, gl. 625 mm
Objetosc komory:
ok. 100 litrów
Doprowadzenie gazu:
3 kanaly gazowe MFC
Generator:
40 kHz/0-2.500 W
(Opcja: 13,56 MHz lub 2,45 GHz)
Pompa prózniowa:
Leybold, Typ D40B (40 m³/h)
Uchwyt obrabianych elementów:
do 10 nosników produktów
(Opcja: beben obrotowy)
Sterowanie:
sterowanie PC (Windows)
Opcje/osprzet
|
|
Plasma system TETRA-100-LF-PC do produkcji: czyszczenie, aktywowanie, wytrawianie
Szesciokrotne nosniki produktów i bebny obrotowe do systemów TETRA |
