| |
Powierzchnia jest
czyszczona fizycznie, przez bombardowanie jonami, a także,
zależnie od rodzaju gazu, przez reakcje chemiczne.
Zanieczyszczenia są przetwarzane do fazy gazowej i odsysane.
Zastosowania plasma cleaning:
- usuwanie smarów, olejów, tlenków lub silikonów (nie
zawierających alkilobenzenosulfonianów prostołańcuchowych -
LABS),
- wstępna obróbka przed mikromontażem, lutowaniem lub
klejeniem.
- wstępna obróbka elementów metalowych przed lakierowaniem.
|
