UZYWANE W FIZYCE PLAZMY :: Powlekanie CVD

	SŁOWNICTWO
	[ UZYWANE W FIZYCE PLAZMY ]

	Powlekanie CVD W metodzie CVD do komory reakcyjnej wprowadzana jest mieszanina gazów, która wskutek reakcji zachodzącej w podwyższonej temperaturze tworzy ciało stałe i pod wpływem katalitycznego działania powierzchni podłoża osadza się na materiale wyjściowym. Istnieje wiele wariantów tej metody. Rozróżniamy m.in. procesy termiczne CVD i procesy CVD z aktywowaniem plazmowym (PA-CVD). Najważniejsze typy reakcji w pierwszej z wymienionych metod to chemosynteza, piroliza i dysmutacja. W procesie PA-CVD reakcje chemiczne są aktywowane plazmą. Oprócz oznaczenia PACVD w literaturze angielskiej używane jest także oznaczenie PE-CVD (PECVD, plasma enhanced CVD). (SH)

	home \| Tecnika plazmowa \| Słownictwo \| FAQ \| Urządzenia Plazmowe \| Leasing maszyn \| Obróbka uslugowa \| Doradztwo/Serwis \| Przedstawicielstwa\| Referencje \| Pliki do pobrania \| Targi \| Kontakt \| Dojazd \| O nas \| Stopka redakcyjna

	© 2009 Diener electronic GmbH + Co. KG Webdesign Heindl Internet AG

SŁOWNICTWO