Caratteristiche tecniche:
Plasma cleaner Zepto
Quadro elettrico:
largh. 425 mm, alt. 185 mm, prof. 450 mm
Camera:
vetro, Ø 105 mm, lungh 300 mm
Volume della camera:
ca. 2,6 Litri
Alimentazione gas:
2 canales gas con valvola a spillo Generatore:
40kHz/100W o 13,56 MHz/ 50W fixed matching
Pompa per vuoto:
Aspirazione: 2 m³/h
Sistema di caricamento:
Vassoio 1 pz.
Sistema di controllo:
manuale, tempo di processo regolato da temporizzatore by timer
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IMPIANTI AL PLASMA ZEPTO:
sviluppo processo, pulizia, attivazione, etching per piccole serie.
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