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[ Tecnica delle microonde ]
Le microonde (frequenza 2,45 GHz) sono impiegate per l’eccitazione di plasmi a bassa pressione. I vantaggi sono il prezzo economico e l’alta efficacia durante il processo di etching e la polimerizzazione del plasma. A questi si aggiungono svantaggi, quali i costi del complesso elettrico, l’impiego di alta tensione, la limitazione a recipienti di vetro e la cattiva omogeneità.
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