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[ Colori del plasma ]
Il colore di un plasma si genera attraverso le emissioni di atomi, ioni o molecole energicamente eccitati durante il rilassamento in stati con scarsa energia. Poiché in ogni gas i livelli energetici mostrano numerose differenze, ogni gas di processo produce emissioni diverse con determinate caratteristiche e di conseguenza diversi colori specifici. I colori tipici di alcuni gas impiegati spesso nei processi al plasma sono i seguenti: CF4: blu SF6: blu chiaro SiF4: azzurro SiCl4: azzurro Cl2: verde chiaro CCl4: verde chiaro H2: rosa O2: giallo chiaro N2: rosso-giallo Br2: rossiccio He: rosso-violetto Ne: rosso mattone Ar: rosso scuro I colori del plasma non solo possono essere sfruttati per il riconoscimento del gas di processo, ma anche per valutare in modo qualitativo se il gas di processo è libero da impurità.
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