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[ Etching ]
Processo per la pulizia di una superficie, nella maggior parte dei casi un metallo, per mezzo della rimozione di ossidi superficiali o strati passivi. L’etching viene eseguito per mezzo di immersione in soluzioni acide o alcaline oppure con trattamento al plasma ("plasma etching") in un gas di processo adeguato. Alcuni esempi di applicazioni dei processi di etching al plasma sono il silicio, SiO2 e Si4N3 nella microelettrica, metalli con ossidi superficiali nonché materie plastiche con scarsa adesività quali il PTFE.
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