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SYSTEMES PLASMA STANDARDS

 

[ PLASMA SYSTEM TETRA-30-LF-PC - PLASMA ETCHER ]

   
  Le system plasma TETRA-30-LF, avec sa chambre de 30 litres est généralement utilisé pour des productions de moyennes séries dans des différents domaines d'application: le nettoyage, la gravure et l’activation.
   
  Documentation TETRA (PDF 815 KB)
   
   
 
 

Données techniques:
Plasma etcher TETRA-30-LF-PC

Dimensions du système :
L 600 mm, H 800 mm, P 650 mm
Dimensions de la chambre :
L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm
(625 mm en option)
Volume de la chambre :
34 litres
Alimentation en gaz :
3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 1000 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold D16B (16 m3/h)
Support de pièce :
6 plateaux (tambour rotatif en option)
Contrôle: Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.

Options / accessoires

 
TETRA-30-LF-PC. Plasma etcher

Plasma system TETRA-30-LF-PC Contrôlé par PC: Construit pour la production, nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.
   
   
   
 

Plasma system Tetra-30-LF-PC, système autonome

   
 
 

Données techniques:
Plasma etcher TETRA-30-LF-PC

Dimensions du système :
L 600 mm, H 2200 mm, P 850 mm
Dimensions de la chambre :
L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm (625 mm en option)
Volume de la chambre :
34 litres
Alimentation en gaz :
3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 1000 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold D16B (16 m3/h)
Support de pièce :
6 plateaux (tambour rotatif en option)
Contrôle:
Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.

Options / accessories

 
TETRA-30-LF-PC: Plasma cleaner

Plasma system TETRA-30-LF-PC Construit pour la production, nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.
   
   
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