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SYSTÈMES PLASMA - PLASMA BASSE PRESSION[ SYSTÈMES PLASMA TETRA 150]Les systèmes à plasma Tetra 150 peuvent être combinés dans un système modulaire en différentes variantes. Ce qui suit est un aperçu des options les plus populaires dans le cadre de systèmes plasma Tetra 150. Appelez-nous, nous vous conseillons. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0 Documentation TETRA 100 (PDF 1556 KB) L'équipement de base - Les cas varient en fonction des composants / options- Volume de la chambre: selon la version de 150 litres - Alimentation: 230 V pour dessus de table, 400 V / 3 phases Intégrable Fourniture de gaz - Vanne à aiguille- Mass-Flow-Controller (MFC supplémentaires) Chambres à vide rectangulaire, la porte charnière(env. l 400 mm x H 600 mmx G 625 mm) Chargement Clients (Option: refroidi à l'eau), Bac en verre de quartz ,Tambour rotatif pour la poudre, Tambour rotatif pour en vrac, tôle d'aluminium, tôle d'acier inoxydable, verre borosilicate, verre quartzeux Électrode - Simple ou multi-étages- RIE Contrôle - semi-automatique- contrôle par PCCE (Microsoft Windows CE) - contrôle par PC (Microsoft Windows XPE) Manomètre - Pirani- Baratron (Pour la version gaz corrosifs) Timer - DigitalGénérateurs Fréquences: 40 kHz: Puissance 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W13,56 MHz: Puissance 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W 2,45 GHz: Puissance 0 - 1200 W Tous les générateurs sont réglables en continu de 0 à 100% Pompes à vide - dans différentes tailles provenant de différents fabricants(Au besoin, avec filtre à charbon actif) Plus d'options Jeu de pièces de rechange, Modèle gaz corrosifs , Gasflaschen, Réducteur de pression , Plaque chauffante ,Appareil d'affichage de la température , Chambre chauffable, Cage de Faraday , Accessoires de polymérisation , Kit d'encres de test, Générateur d'oxygène, Aération lente de la chambre sous vide , Pompage lent de la chambre sous vide , Support pour échantillons TEM , Offre de maintenance pour votre installation plasma , Documentation en langue locale , Installation de votre installation plasma sur site .
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