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SYSTÈMES PLASMA - PLASMA BASSE PRESSION

[ SYSTÈMES PLASMA TETRA 150]



Les systèmes à plasma Tetra 150 peuvent être combinés dans un système modulaire en différentes variantes. Ce qui suit est un aperçu des options les plus populaires dans le cadre de systèmes plasma Tetra 150.

Appelez-nous, nous vous conseillons. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0

Documentation TETRA 100 (PDF 1556 KB)


L'équipement de base

- Les cas varient en fonction des composants / options
- Volume de la chambre: selon la version de 150 litres
- Alimentation: 230 V pour dessus de table, 400 V / 3 phases
  Intégrable

Fourniture de gaz

- Vanne à aiguille
- Mass-Flow-Controller (MFC supplémentaires)

Chambres à vide

    rectangulaire, la porte charnière
    (env. l 400 mm x H 600 mmx G 625 mm)

Chargement

  Clients (Option: refroidi à l'eau), Bac en verre de quartz ,
  Tambour rotatif pour la poudre, Tambour rotatif pour en vrac,
  tôle d'aluminium, tôle d'acier inoxydable, verre borosilicate,
  verre quartzeux

Électrode

- Simple ou multi-étages
- RIE

Contrôle

- semi-automatique
- contrôle par PCCE (Microsoft Windows CE)
- contrôle par PC (Microsoft Windows XPE)

Manomètre

- Pirani
- Baratron (Pour la version gaz corrosifs)

Timer

- Digital

Générateurs

Fréquences: 40 kHz: Puissance 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W
                13,56 MHz: Puissance 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W
                  2,45 GHz: Puissance 0 - 1200 W

Tous les générateurs sont réglables en continu de 0 à 100%

Pompes à vide

- dans différentes tailles provenant de différents fabricants
  (Au besoin, avec filtre à charbon actif)


 

Voici quelques exemples de nos logement TETRA 150



Plasmasystem TETRA 30 Variante A für die Serienproduktion, Reinigung, Aktivierung, Ätzung und Beschichtung - Diener Plasmaanlagen, Plasma cleaner
 TETRA 150 Exemple A


Plasmasystem TETRA 30 Variante B für die Serienproduktion, Reinigung, Aktivierung, Ätzung und Beschichtung - Diener Plasmasysteme, Plasma cleaner
 TETRA 150 Exemple B



S'il vous plaît contacter pour des conseils techniques pour ces plantes en avec nous.

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