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SYSTÈMES PLASMA - PLASMA BASSE PRESSION

[ SYSTÈMES PLASMA FEMTO ]



Les systèmes à plasma Femto peuvent être combinés dans un système modulaire en différentes variantes. Ce qui suit est un aperçu des options les plus populaires dans le cadre de systèmes plasma Femto.

Appelez-nous, nous vous conseillons. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0

Documentation FEMTO (PDF 1007 KB)


L'équipement de base

- Les cas varient en fonction des composants / options
- Volume de la chambre: selon la version de 1,9 à 6 litres
- Alimentation: 230 V pour dessus de table, 400 V / 3 phases
  Intégrable

Fourniture de gaz

- Vanne à aiguille
- Mass-Flow-Controller (MFC supplémentaires)

Chambres à vide

- En acier inoxydable
- ronde avec couvercle
    (env. Ø 100 mm, L 278 mm oder L 600 mm) ou
    rectangulaire, la porte charnière
    (env. l 103 mm x H 103 mm x G 285 mm)

- aluminium
    ronde avec couvercle ou la porte charnière
    (env. Ø 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)

- verre quartzeux (UHP)
    ronde avec couvercle ou la porte charnière
    (env. Ø 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)

- verre borosilicate (UHP)
    ronde avec couvercle ou la porte charnière
    (env. Ø 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)

Chargement

  Clients (Option: refroidi à l'eau), Bac en verre de quartz ,
  Tambour rotatif pour la poudre, Tambour rotatif pour en vrac,
  tôle d'aluminium, tôle d'acier inoxydable, verre borosilicate,
  verre quartzeux

Électrode

- Simple ou multi-étages
- RIE

Contrôle

- semi-automatique
- contrôle par PCCE (Microsoft Windows CE)
- contrôle par PC (Microsoft Windows XPE)

Timer

- Digital

Générateurs

Fréquences:      40 kHz: Puissance 0 - 100 W, 0 - 1000 W
                     13,56 MHz: Puissance 0 - 50 W, 0 - 300 W
                       2,45 GHz: Puissance 0 - 100 W, 0 - 300 W

Tous les générateurs sont réglables en continu de 0 à 100%

Pompes à vide

- dans différentes tailles provenant de différents fabricants
  (Au besoin, avec filtre à charbon actif)


 

Voici quelques exemples de nos logement FEMTO



Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante A für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme
 FEMTO Exemple la variante A


Plasmasystem FEMTO Beispiel Variante B mit Türschanier für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
 FEMTO Exemple la variante B


Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante C für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme
 FEMTO Exemple la variante C


Plasmasystem FEMTO Beispiel Variante D für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
 FEMTO Exemple la variante D


Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante E für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme
 FEMTO Exemple la variante E


Plasmasystem FEMTO Beispiel Variante F für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
 FEMTO Exemple la variante F


Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante G für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme
 FEMTO Exemple la variante G


Plasmasystem FEMTO Beispiel Variante H für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
 FEMTO Exemple la variante H


Plasmaanlage FEMTO Beispiel Variante J für Prozessentwicklung, reinigen, aktivieren, ätzen, beschichten in Kleinserie - Diener Plasmasysteme
 FEMTO Exemple la variante J

S'il vous plaît contacter pour des conseils techniques pour ces plantes en avec nous.

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