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SYSTÈMES PLASMA - PLASMA BASSE PRESSION[ SYSTÈMES PLASMA FEMTO ]Les systèmes à plasma Femto peuvent être combinés dans un système modulaire en différentes variantes. Ce qui suit est un aperçu des options les plus populaires dans le cadre de systèmes plasma Femto. Appelez-nous, nous vous conseillons. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0 Documentation FEMTO (PDF 1007 KB) L'équipement de base - Les cas varient en fonction des composants / options- Volume de la chambre: selon la version de 1,9 à 6 litres - Alimentation: 230 V pour dessus de table, 400 V / 3 phases Intégrable Fourniture de gaz - Vanne à aiguille- Mass-Flow-Controller (MFC supplémentaires) Chambres à vide - En acier inoxydable- ronde avec couvercle (env. Ø 100 mm, L 278 mm oder L 600 mm) ou rectangulaire, la porte charnière (env. l 103 mm x H 103 mm x G 285 mm) - aluminium ronde avec couvercle ou la porte charnière (env. Ø 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm) - verre quartzeux (UHP) ronde avec couvercle ou la porte charnière (env. Ø 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm) - verre borosilicate (UHP) ronde avec couvercle ou la porte charnière (env. Ø 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm) Chargement Clients (Option: refroidi à l'eau), Bac en verre de quartz ,Tambour rotatif pour la poudre, Tambour rotatif pour en vrac, tôle d'aluminium, tôle d'acier inoxydable, verre borosilicate, verre quartzeux Électrode - Simple ou multi-étages- RIE Contrôle - semi-automatique- contrôle par PCCE (Microsoft Windows CE) - contrôle par PC (Microsoft Windows XPE) Timer - DigitalGénérateurs Fréquences: 40 kHz: Puissance 0 - 100 W, 0 - 1000 W13,56 MHz: Puissance 0 - 50 W, 0 - 300 W 2,45 GHz: Puissance 0 - 100 W, 0 - 300 W Tous les générateurs sont réglables en continu de 0 à 100% Pompes à vide - dans différentes tailles provenant de différents fabricants(Au besoin, avec filtre à charbon actif) Plus d'options Jeu de pièces de rechange, Manomètre , Modèle gaz corrosifs , Gasflaschen, Réducteur de pression , Plaque chauffante ,Appareil d'affichage de la température , Chambre chauffable, Cage de Faraday , Accessoires de polymérisation , Kit d'encres de test, Générateur d'oxygène, Aération lente de la chambre sous vide , Pompage lent de la chambre sous vide , Support pour échantillons TEM , Offre de maintenance pour votre installation plasma , Documentation en langue locale , Installation de votre installation plasma sur site . Voici quelques exemples de nos logement FEMTO
FEMTO Exemple la variante A
FEMTO Exemple la variante B
FEMTO Exemple la variante C
FEMTO Exemple la variante D
FEMTO Exemple la variante E
FEMTO Exemple la variante F
FEMTO Exemple la variante G
FEMTO Exemple la variante H
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