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[ CVD ]
Dépôt chimique en phase vapeur, procédé de dépôt de couche par décomposition d’une matière sous forme gazeuse (exemple : dépôt d’une couche métallique par évaporation thermique du métal à déposer) Le procédé CVD peut être optimiser par une réaction plasma ( PECVD = Plasma Enhanced CVD / PACVD = Plasma Activated CVD). Les principales applications du dépôt en phase vapeur sont le revêtement de pièces avec des couches amorphes type carbone, silicium ou titane, ou encore carbure et nitrure.
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