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La superficie del sustrato se limpia por medio de bombardeo
con iones por efectos físicos ó segun el gas plasmágeno
también por reacciones químicas. Las impurezas
se transforman en su fase gaseosa y se aspiran fuera de la cámara.
Aplicaciones plasma cleaning:
- desengrasado, quitar capas de aceite, óxidos o siliconas
- Tratamientos previos al bonding, soldaduras y uniones con pegamentos
- Tratamientos previos a la pintura de piezas metálicas
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