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SISTEMAS DE PLASMA - SISTEMAS DE SERIE - STANDARD PLASMA SYSTEMS
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[ PLASMA SYSTEM FEMTO - PLASMA CLEANER ]
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El Plasma system de Laboratorio de Dos Litros FEMTO con sistema de control semi-automático se usa preferiblemente las siguientes aplicaciones: Producción de series pequeñas:
- Analítica (REM, TEM)
- Técnicas Medicinales
- Esterilización
- Desarollo e Investigación
- Arqueología
- Industria Textil
- Industria de Semiconductores
- Industria Plástica
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Como los folletos todavía no existen en idioma español se los ponemos a disposición en inglés.
Folleto FEMTO (PDF 1005 KB)
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Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto timer (version 1)
Gabinete Eléctrico:
Ancho 345 mm, Altura 220 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 270 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
1 canal de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
40 kHz / 0 - 100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Manual, duración del proceso por temporizador
Accesorios y Opcionales
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Plasma system FEMTO timer (version 1): Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)
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Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto PCCE
(version 2)
Gabinete Eléctrico:
Ancho 562 mm, Altura 211 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 280 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2,8 litros
Alimentación del gas:
2 canales de gas, cada uno controlado por un MFC
Generador:
40 kHz / 0 - 100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
PC control
Accesorios y Opcionales
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Plasma system FEMTO PCCE (version 2)::
Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)

| Old LCD-display |
Innovative touchscreen |
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Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 3)
Gabinete Eléctrico:
Ancho 345 mm, Altura 220 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 270 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
1 canal de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
13,56 MHz/50W
Bomba de Vacío::
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Manual, duración del proceso por temporizador
Accesorios y Opcionales
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Plasma system FEMTO (version 3)::
Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)
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Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 4)
Gabinete Eléctrico:
Ancho 560 mm, Altura 310 mm, Fondo 600 mm
Cámara de Trabajo:
Ancho 100 mm, Altura 100 mm, Fondo 280 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
1 canal de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
40 kHz / 0 - 100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
semi-automatic, duración del proceso por temporizador
Accesorios y Opcionales
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Plasma system FEMTO (version 4):
Process development, cleaning, activating, etching
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Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 5)
Gabinete Eléctrico:
Ancho 562 mm, Altura 211 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 270 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
2 canales de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
40kHz/100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Semi-automático, duración del proceso por temporizador
Pressure sensor: Pirani
Accesorios y Opcionales
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Plasma system FEMTO (version 5):
Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)
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Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 6)
Gabinete Eléctrico:
Ancho 562 mm, Altura 460 mm, Fondo 550 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 270 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
3 canales de gas, cada uno controlado por un MFC
Generador:
40kHz/0-100 W (opcional 13,56 MHz ó 2,45 GHz)
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Computadora Personal (PC) con Windows
Accesorios y Opcionales |

Plasma system FEMTO-PC (version 6):
Process development, cleaning, activating, etching (en series pequeñas)
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Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 7)
Gabinete Eléctrico:
Ancho 320 mm, Altura 500 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ancho 100 mm, Altura 270 mm, Fondo 280 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
2 canales de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
40kHz/100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:
1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Semi-automático, duración del proceso por temporizador
Pressure sensor: Pirani
Accesorios y Opcionales
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Plasma system FEMTO (version 7):
Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)
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Los precios son estimativos y pueden cambiar sin previo preaviso
Para obtener asesoría técnica para este sistema, le rogamos se pongan en contacto con nosotros.
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