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SISTEMAS DE PLASMA - SISTEMAS DE SERIE - STANDARD PLASMA SYSTEMS

 

[ PLASMA SYSTEM FEMTO - PLASMA CLEANER ]

   
  El Plasma system de Laboratorio de Dos Litros FEMTO con sistema de control semi-automático se usa preferiblemente las siguientes aplicaciones: Producción de series pequeñas:

  • Analítica (REM, TEM)
  • Técnicas Medicinales
  • Esterilización
  • Desarollo e Investigación
  • Arqueología
  • Industria Textil
  • Industria de Semiconductores
  • Industria Plástica

 

Como los folletos todavía no existen en idioma español se los ponemos a disposición en inglés.
Folleto FEMTO (PDF 1005 KB)

 


   
 

Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto timer (version 1)

Gabinete Eléctrico:
Ancho 345 mm, Altura 220 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 270 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
1 canal de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
40 kHz / 0 - 100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:

1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Manual, duración del proceso por temporizador

Accesorios y Opcionales



 
Plasmaanlage FEMTO für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme
Plasma system FEMTO timer (version 1): Process development, cleaning, activating, etching (en series pequeñas)

Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto PCCE
(version 2)

Gabinete Eléctrico:
Ancho 562 mm, Altura 211 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 280 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2,8 litros
Alimentación del gas:
2 canales de gas, cada uno controlado por un MFC
Generador:
40 kHz / 0 - 100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:

1 Portador de piezas
Sistema de Control:
PC control

Accesorios y Opcionales



 
Plasmaanlage FEMTO PCCE für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Plasma system FEMTO PCCE (version 2)::
Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)

Veraltete LCD-Anzeige, Innovativer Touchscreen
Old LCD-display Innovative touchscreen


Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 3)

Gabinete Eléctrico:
Ancho 345 mm, Altura 220 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 270 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
1 canal de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
13,56 MHz/50W
Bomba de Vacío::
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:

1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Manual, duración del proceso por temporizador

Accesorios y Opcionales



 
Plasmaanlage FEMTO für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Plasmasysteme

Plasma system FEMTO (version 3)::
Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)


Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 4)

Gabinete Eléctrico:
Ancho 560 mm, Altura 310 mm, Fondo 600 mm
Cámara de Trabajo:
Ancho 100 mm, Altura 100 mm, Fondo 280 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
1 canal de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
40 kHz / 0 - 100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:

1 Portador de piezas
Sistema de Control:
semi-automatic, duración del proceso por temporizador

Accesorios y Opcionales



 
Femto with door: Plasma cleaner, plasma asher, plasma activator

Plasma system FEMTO (version 4):
Process development, cleaning, activating, etching

 
 

Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 5)

Gabinete Eléctrico:
Ancho 562 mm, Altura 211 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 270 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
2 canales de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
40kHz/100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:

1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Semi-automático, duración del proceso por temporizador
Pressure sensor:
Pirani

Accesorios y Opcionales



Plasmasystem FEMTO LF cleaning, etching, activating any surface

Plasma system FEMTO (version 5):
Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)
 


 

Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 6)

Gabinete Eléctrico:
Ancho 562 mm, Altura 460 mm,
Fondo 550 mm
Cámara de Trabajo:
Ø 100 mm, L 270 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
3 canales de gas, cada uno controlado por un MFC
Generador:
40kHz/0-100 W
(opcional 13,56 MHz ó 2,45 GHz)
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:

1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Computadora Personal (PC) con Windows

Accesorios y Opcionales

Plasmasystem FEMTO with PC control cleaning, etching, activating any surface
Plasma system FEMTO-PC (version 6):
Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)
 
 

Datos Técnicos:
Plasma cleaner Femto
(version 7)

Gabinete Eléctrico:
Ancho 320 mm, Altura 500 mm, Fondo 420 mm
Cámara de Trabajo:
Ancho 100 mm, Altura 270 mm, Fondo 280 mm
Volúmen de la Cámara:
aprox. 2 litros
Alimentación del gas:
2 canales de gas con válvula accionada por aguja
Generador:
40kHz/100 W
Bomba de Vacío:
Leybold, Tipo S1,5 (1,5 m³/h)
Bastidor para piezas:

1 Portador de piezas
Sistema de Control:
Semi-automático, duración del proceso por temporizador
Pressure sensor:
Pirani

Accesorios y Opcionales



Plasmasystem FEMTO V LF cleaning, etching, activating any surface

Plasma system FEMTO (version 7):
Process development, cleaning, activating, etching
(en series pequeñas)
 

Los precios son estimativos y pueden cambiar sin previo preaviso Para obtener asesoría técnica para este sistema, le rogamos se pongan en contacto con nosotros.

   
   
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