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Es un método asistido por el plasma para tratamientos de superficies metálicas. En la aplicación de capas de iones la superficie del sustrato se limpia con plasma por bombardeo con iones. Despues se aplica un vapor metálico de una fuente evaporadora, el cual se ioniza parcialmente y es acelerado hacia la superficie por una pre-tensión negativa en el sustrato precalentado. De esta manera crece una capa de metal evaporado sobre el sustrato, mientras una y otra vez una parte del sustrato resp. de la superficie se segrega (abrasion) por el bombardeo de iones. La estructura de la capa resultante depende en muy alto grado de la temperatura del sustrato.
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