PLASMAANLAGEN - STEUERUNG

[ STEUERUNGSVARIANTEN - PC-STEUERUNG]

Zur Steuerung unserer PC- Anlagen haben wir eine Software entwickelt, die den speziellen Anforderungen der Plasmatechnik angepasst ist:

• Einfache Bedienbarkeit
• Visualisierung der Anlage auf dem Bildschirm
• Regelung aller prozeßrelevanten Parameter
• Überwachung aller prozeßrelevanten Parameter
• Aufzeichnung aller prozeßrelevanten Parameter
• Chargen und Bedienerdokumentation

Funktionen der PC-Steuerung:

• Die Steuerung erfolgt durch PC mit seriellem Industrie-Feldbus
• PC, Monitor und Tastatur sind im Schaltschrank eingebaut
• Galvanische Trennung aller Ein- und Ausgänge für erhöhte Störsicherheit
• Druckluftwächter
• Bedienung mit Programm unter Windows
  
  
• Zwei Modi:
  Manueller Betrieb: - Manuelles Bedienen der Maschine über Dialogbox
  Automatischer Betrieb: - Automatischer Ablauf eines zuvor erstellten Prozesses
  
  
• Parameter:
  Abpumpdruck (bis Prozeßstart)
  Maximale Abpumpzeit (bis Fehlermeldung)
  Gas-Massenflüsse (Verhältnisse)
  Prozessdruck
  Stabilisierungszeit
  HF-Leistung
  Prozessdauer mit HF
  Spülzeit
  Belüftungszeit
  Temperatur (in die Kammer ist optional ein Thermoelement eingebaut)
  Fehlergrenzen für:
  - Massenfluß
  - Prozessdruck
  - HF-Leistung
  - Temperatur
  
  
• Digitale Druck-Regelung über PI / PID-Regler, d.h. nicht nur Steuerung der Massenflüsse, sondern echte Druckstabilisierung
• 100 Automatische Prozesse erstellbar
• Auf Wunsch akustische Anzeige des Prozessendes
• Eingabe eines Kommentares
• Speichern der Prozeßdaten als Excel-Datei
• Protokoll-Ausdruck über handelsüblichen Drucker
• Folgeprozesse sind möglich
• Netzwerkkarte