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Die Steuerung
erfolgt durch PC mit Industrie-Feldbus und läuft unter MS-Windows.
Das Speichern der Prozessdaten als Excel-Datei ist möglich. Folgende
Parameter können eingestellt werden:
- Abpumpdruck
- max. Abpumpzeit
- Gas-Massenflüsse
- Prozeßdruck
- Stabilisierungszeit
- HF-Leistung
- Prozeßzeit
- Spülzeit
- Belüftungszeit
- Fehlergrenzen
- Sub-Programme
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