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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN - PLASMA SYSTEM NANO[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]Die NANO Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den NANO Plasmasystemen. Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0 Prospekt NANO (PDF 1068 KB) Grundausstattung - Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen- Kammervolumen: je nach Version 18 - 36 Liter - Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät Gaszufuhr - Nadelventile- Mass-Flow-Controller (MFCs) Vakuumkammern - Edelstahlrund mit Deckel (ca. Ø 267 mm, L 420 mm oder L 600 mm) rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 240 x H 240 mm x T 420 mm oder 600 mm) - Aluminium rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. Ø 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm) - Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. Ø 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm) - Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. Ø 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm) Beladung Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote,Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas Elektroden - Ein- oder Mehretagen- RIE Steuerung - Halbautomatik- PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE) - PC-Steuerung (Microsoft Windows XPE) Druckmessung - Pirani- Baratron (für Korrosivgas Version) Timer - DigitalGeneratoren Frequenzen: 40 kHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 1000 W13,56 MHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W 2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 % Vakuumpumpen - in verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern(nach Bedarf mit Aktivkohlefilter) Weitere Optionen Ersatzteilsets, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolimerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoff-Generator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Proben-halterflansch, Wartung / Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung.Hier sehen Sie einige Beispiele unserer |
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