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Damit eine Plasmaanlage funktioniert, bedarf es eines Generators. Welche Frequenz dabei die beste Frequenz für die gewünschte Plasmaanwendung ist, kann nicht allgemein beantwortet werden, sondern muss von Fall zu Fall entschieden werden. Nachdem Diener electronic bereits seit Jahren Plasma-Generatoren mit einer Frequenz von
40 kHz und
2,45 GHz im Produktangebot hat, kommen nun die eigens entwickelten und produzierten
13,56 MHz-Generatoren mit 100 und 300 Watt hinzu.
Vorteile der 13,56 MHz-Generatoren:
- RIE-Betrieb möglich
- Homogenität ist besser als bei 2,45 GHz
- Ätzrate ist bei gleicher Leistung höher als bei 40 kHz
- Metalldrehtrommeln können problemlos verwendet werden
- Es können Elektroden /
Warenträger aufgebaut werden, die Symmetrierung der Elektroden ist aber sehr aufwändig
- Geeignet für Front- und Back-End-Halbleiterprozesse
- Hohe Beschichtungsraten bei Plasma-Polymerisationsprozessen
Hauptanwendungsgebiete sind bei beiden Leistungen die
Plasmaanwendungen
aktivieren,
reinigen,
ätzen,
Halbleiter (front-end), Halbleiter (back-end) und
Plasmapolymerisation. Die Impedanzanpassung kann sowohl manuell (handmatching) als auch automatisch (automatching) erfolgen, ist aber in jedem Fall erforderlich, weshalb das HF-System aus Generator und Matching besteht.
Während beim Handmatching die Matching bei jedem Prozessstart eingestellt und während des Prozesses sporadisch kontrolliert und nachgestellt werden muss, werden die Kondensatoren automatisch eingestellt und bei Veränderungen nachgeregelt.
Möglich sind außerdem die Anzeige der Vorwärts- und Rückwärtsleistung, Sicherheitsabschaltung über Türschalter und Vakuumsicherheitsschalter, quarzstabilisierte Frequenz um DIN EN 55011 einzuhalten und eine PC-Schnittstelle.
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