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PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN
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[ PLASMA SYSTEM FEMTO ]
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Die Zwei-Liter-Laboranlage
FEMTO mit halbautomatischer Steuerung kommt vorwiegend in folgenden
Bereichen zum Einsatz:
- Kleinserienfertigung
- Analytik (REM, TEM)
- Medizintechnik
- Sterilisieren
- Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
- Archäologie
- Textiltechnik
- Halbleitertechnik
- Kunststofftechnik
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Prospekt
FEMTO (PDF 1007 KB) |
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Alle Plasmasysteme können in den verschiedensten Variationen kombiniert werden. Die folgende Übersicht soll zu einem Überblick über die gängigsten Anlagen verhelfen. |
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Technische Daten:
Plasma cleaner Femto
mit digital Timer
Schaltschrank:
B 345 mm, H 220 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 270 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
1 Gaskanal über Nadelventil
Generator:
40kHz/100W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer
Timer:
Timer LT4H
Optionen / Zubehör
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Kleinanlage FEMTO mit Timer (Version 1) : Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung,
Ätzung in Kleinserie
PREIS: auf Anfrage |
Technische Daten:
Plasma cleaner Femto PCCE
Schaltschrank:
B 562 mm, H 211 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 280 mm
Kammervolumen:
ca. 2,8 Liter
Gaszuführung:
2 St. Gaskanäle über MFC
Generator:
40kHz/100W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
PC-Steuerung
Optionen / Zubehör
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Kleinanlage FEMTO PCCE (Version 2) :
Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung, Ätzung in Kleinserie mit innovativem Touchscreen
PREIS: auf Anfrage
| Veraltete LCD-Anzeige |
Innovativer Touchscreen |
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Technische Daten:
Plasma cleaner Femto
Schaltschrank:
B 345 mm, H 220 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 270 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
1 Gaskanal über Nadelventil
Generator:
13,56 MHz/50W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer
Optionen / Zubehör
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Kleinanlage FEMTO (Version 3) : Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung,
Ätzung in Kleinserie
PREIS: auf Anfrage |
Technische Daten:
Plasma cleaner Femto
(mit Scharniertür)
Schaltschrank:
B 560 mm, H 310 mm, T 600 mm
Kammer:
B 100 mm H 100 mm L 280 mm
Kammervolumen:
ca. 2,8 Liter
Gaszuführung:
1 Gaskanal über Nadelventil
Generator:
40kHz/100W, stufenlos
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer
Optionen / Zubehör
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Kleinanlage FEMTO (Version 4) : Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung, Ätzung in Kleinserie
PREIS: auf Anfrage |
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Technische Daten:
Plasma cleaner Femto
Schaltschrank:
B 562 mm, H 211 mm, T 420 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 270 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventile
Generator:
40 kHz/100W, stufenlos regelbar
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer
Druckmessgerät:
Pirani
Optionen / Zubehör |
Kleinanlage FEMTO (Version 5) : Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie
PREIS: auf Anfrage | |
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Technische Daten:
Femto-PC
Schaltschrank:
B 500 mm, H 460 mm, T 550 mm
Kammer:
Ø 100 mm, L 270 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über je einen MFC
Generator:
40 kHz/0-100 W
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
PC-Steuerung unter Windows
(siehe unsere Seiten über PC-Steuerung)
Optionen / Zubehör |
Kleinanlage FEMTO-PC (Version 6) : Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie
PREIS: auf Anfrage |
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Technische Daten:
Plasma cleaner Femto
Schaltschrank:
B 320 mm, H 500 mm, T 420 mm
Kammer:
B 100 mm H 100 L 280 mm
Kammervolumen:
ca. 2 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventile
Generator:
40 kHz/100W, stufenlos regelbar
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ S1,5 (1,5m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozeßzeit über Timer
oder Automatisch
Druckmessgerät:
Pirani
Optionen / Zubehör |
Kleinanlage FEMTO (Version 7) : Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie
PREIS: auf Anfrage |
Die genannten Preise sind unverbindlich
Bitte setzen Sie sich wegen
technischer Beratung für diese Anlagen mit uns in Verbindung.
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