| |
Technische Daten:
Plasma Cleaner Atto
mit manueller Steuerung
Gehäuse:
B 425 mm, H 275 mm, T 450 mm
Kammer:
aus Glas,
Ø 211 mm, L 300 mm
Kammervolumen:
ca. 10,5 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventil
Generator:
40kHz/200W oder 13,56 MHz/50W feste Matching
Vakuumpumpe:
Saugleistung: 2m³/h
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
manuell, Prozesszeit über Analog-Timer
|
|
Low-Cost Plasmaanlage ATTO:
Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung,
Ätzung in Kleinserie
PREIS: auf Anfrage |
Technische Daten:
Plasma Cleaner Atto
mit externer PC Steuerung
(Microsoft Windows XP)
Gehäuse:
B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm
Kammer:
aus Glas,
Ø 211 mm, L 300 mm
Kammervolumen:
ca. 10,5 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
40kHz/200W oder 13,56 MHz/50W feste Matching
Vakuumpumpe:
Saugleistung: 2m³/h
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
- PC-Steuerung (Microsoft Windows XP)
|
|
Low-Cost Plasmaanlage ATTO:
Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung,
Ätzung in Kleinserie
PREIS: auf Anfrage |
Technische Daten:
Plasma Cleaner Atto
mit eingebauter PC Steuerung
(Microsoft Windows XP)
Gehäuse:
B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm
Kammer:
aus Glas,
Ø 211 mm, L 300 mm
Kammervolumen:
ca. 10,5 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
40kHz/200W oder 13,56 MHz/50W feste Matching
Vakuumpumpe:
Saugleistung: 2m³/h
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
- PC-Steuerung (Microsoft Windows XP)
|
|
Low-Cost Plasmaanlage ATTO:
Prozessentwicklung, Reinigung,
Aktivierung,
Ätzung in Kleinserie
PREIS: auf Anfrage |
Technische Daten:
Plasma Cleaner Atto
mit eingebauter PCCE Steuerung
(Microsoft Windows CE)
Gehäuse:
B 525 mm, H 275 mm, T 450 mm
Kammer:
aus Glas,
Ø 211 mm, L 300 mm
Kammervolumen:
ca. 10,5 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
40kHz/200W oder 13,56 MHz/50W feste Matching
Vakuumpumpe:
Saugleistung: 2m³/h
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
- PC-Steuerung (Microsoft Windows CE)
|
|
|
|