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Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 800 mm, T 650 mm
Kammer:
B 305 mm, H 300 mm, T 370 mm
(Optional: T 625 mm)
Kammervolumen:
ca. 34 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über je einen MFC
Generator:
40kHz/0-1000 W
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ D16B (25 m³/h)
Teile-Aufnahme:
bis zu 6 Warenträger
(Optional: Drehrommel)
Steuerung:
PC-Steuerung unter Windows
Optionen/Zubehör
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TETRA-30-LF-PC mit PC-Steuerung. Konzipiert für
die Produktion: Plasma Reinigung, Plasma Aktivierung und Plasma Ätzung |
