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Richtungsabhängig. Die Anisotropie (Richtungs-Abhängigkeit) ist im Bereich der Plasma-Prozesse besonders wichtig bei Ätzprozessen zur Herstellung von Mikrostrukturen, z. B. in Schaltkreisen. Erwünscht ist eine möglichst starke Anisotropie, d. h. eine möglichst starke Vorzugsrichtung der Ätz-Geschwindigkeit, wie sie vor allem bei physikalischen Ätzverfahren beobachtet wird.
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