| |
Technické údaje:
rozvaděč:
W 550 mm, H 330 mm, D 500 mm
komora:
Ø 150 mm, L 320 mm
objem komory:
přibližně 5 litrys
zdroj plynu:
2 plynové kanály přes jehlový ventil
generátor:
40kHz/200 W, neomezeně variabilní
(volitelně: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
vakuová pumpa:
Leybold, Typ Trivac D2.5B (2.5 m³/h) nosiče výrobků:
1 ks nosič výrobků
řízení:
poloautomatické řízení, procesní čas nastavován časovačem
|
|
PLASMA CLEANER PICO: Vývoj procesů, čištění, aktivace, leptání ( optické a laserové technologie )
|
