| |
Plyn [ např. Hexamethyldisiloxane (HMDSO), Hexamethyldisilazane
(HMDSN), Tetraethylen glycol dimethyl ether, C2F6, ap. ] je přiveden do plazmové komory. Protože zde proběhne plazmová polymerizace, budou na povrch naneseny vrstvy.
Aplikace (Plasma technologies for:
- nanášení vodu odpuzujících vrstev
- nanášení hydrofilních vrstev
- použití např. jako difúzní bariéra
|
