| |
Technické údaje:
rozvaděč:
W 600 mm, H 2.200 mm, D 800 mm
komora:
W 400 mm, D 625 mm, H 400 mm
objem komory:
přibližně 100 litrys
zdroj plynu:
max. 3 plynové kanály přes MFC
generátor:
40kHz/0-2500 W
(volitelně: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
vakuová pumpa:
Leybold, Typ D40B (40 m³/h)
nosiče výrobků:
up to 10 trays
(volitelně: rotační buben)
řízení:
PC řízení (Windows)
volitelné položky / příslušenství
|
|
Plasma system TETRA-100-LF-PC pro čištění, aktivaci , leptání ve výrobě
Šestinásobný nosič a rotační buben pro plasma system TETRA. |
