 |
| |
STANDARDNÍ PLAZMOVÉ SYSTÉMY
|
| |
[ PLASMA SYSTEM FEMTO UHP - PLASMA ETCHER]
|
| |
|
| |
1,9 litrový laboratorní plasma system FEMTO UHP (Ultra High Purity) s poloautomatickým řízením je hlavně používán pro:
- výrobu v malém měřítku
- analýzy (SEM, TEM)
- zdravotní technologie
- sterilizaci
- výzkum a vývoj
- technologii polovodičů
- technologii plastů
Plasma system Pico UHP nemá komoru z nerezové oceli, takže je vhodný pro aplikace, u kterých vadí stopová množství chrómu, niklu a železa.
|
| |
Prospekt
FEMTO (PDF 1007 KB) |
| |
Všechny plasma system mohou být kombinovány do mnoha různých variant. Následující přehled má napomoci získat přehled o nejčastěji používaných plazmových systémech.
|
| |
|
| |
Technické údaje:
Plasma etcher Femto UHP
(version 8)
rozvaděč:
W 345 mm, H 220 mm, D 420 mm
komora:
O 95 mm, L 270 mm, dvířka O 90 mm
materiály:
křemenné nebo borosilikátové sklo, přední a zadní strana komory: hliník
objem komory:
přibližně 1,9 litry
zdroj plynu:
jeden plynový kanál přes jehlový ventil
generátor:
40kHz/100 W, neomezeně variabilní
vakuová pumpa:
Leybold, Typ S1.5 (1.5m3/h)
nosič výrobků:
1 ks nosič výrobků
řízení:
poloautomatické řízení, procesní čas nastavován časovačem
volitelné položky / příslušenství
|
|
PLASMA SYSTEM FEMTO UHP(version 8):
Vývoj procesů, čištění, aktivace, leptání ( malé série )
|
Technické údaje:
Plasma etcher Femto UHP
(version 9)
rozvaděč:
W 560 mm, H 310 mm, D 600 mm
komora:
W 95 mm, L 270 mm, dvířka O 90 mm
materiály:
křemenné nebo borosilikátové sklo, přední a zadní strana komory: hliník
objem komory:
přibližně 1,9 litry
zdroj plynu:
jeden plynový kanál přes jehlový ventil
generátor:
40kHz/100 W, neomezeně variabilní
vakuová pumpa:
Leybold, Typ S1.5 (1.5m3/h)
nosič výrobků:
1 ks nosič výrobků
řízení:
poloautomatické řízení, procesní čas nastavován časovačem
volitelné položky / příslušenství
|
|
PLASMA SYSTEM FEMTO UHP (version 9):
Process Vývoj procesů, čištění, aktivace, leptání ( s dvířky )
Cena na vyžádání |
|
| |
|
| |
Technické údaje:
Plasma etcher Femto UHP
(version 10)
rozvaděč:
W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
komora:
O 95 mm, L 270 mm, dvířka O 90 mm
materiály:
křemenné nebo borosilikátové sklo, přední a zadní strana komory: hliník
objem komory:
přibližně 1,9 litry
zdroj plynu:
2 plynové kanály přes jehlový ventil
generátor:
40kHz/100 W, neomezeně variabilní
vakuová pumpa:
Leybold, Typ S1.5 (1.5m3/h)
nosič výrobků:
1 ks nosič výrobků
řízení:
poloautomatické řízení, procesní čas nastavován časovačem
Tlakový senzor:
Pirani
volitelné položky / příslušenství
|
PLASMA SYSTEM FEMTO UHP (version 10) :
Vývoj procesů, čištění, aktivace, leptání ( malé série )
Cena na vyžádání | |
| |
|
| |
Technické údaje:
Plasma Etcher Femto UHP
(version 11)
rozvaděč:
W 562 mm, H 460 mm, D 550 mm
komora:
O 95 mm, L 270 mm, dvířka O 90 mm
materiály:
křemenné nebo borosilikátové sklo, přední a zadní strana komory: hliník
objem komory:
přibližně 1,9 litry
zdroj plynu:
3 plynové kanály přes MFC
generátor:
40kHz/0-100 W
(volba: 13,56 MHz nebo2,45 GHz)
vakuová pumpa:
Leybold, Typ S1.5 (1.5m3/h)
nosič výrobků:
1 ks nosič výrobků
řízení:
PC řízení přes Windows ( aby jste se dozvěděli více o řízení přes PC, podívejte se na naše stránky.)
volitelné položky / příslušenství |
PLASMA SYSTEM FEMTO-PC UHP (version 11) :
Vývoj procesů, čištění, aktivace, leptání ( malé série )
Cena na vyžádání | |
| |
Technické údaje:
Plasma etcher Femto UHP
(version 12)
rozvaděč:
W 320 mm, H 500 mm, D 420 mm
komora:
O 95 mm, L 270 mm, dvířka O 90 mm
materiály:
křemenné nebo borosilikátové sklo, přední a zadní strana komory: hliník
objem komory:
přibližně 1,9 litry
zdroj plynu:
2 plynové kanály přes jehlový ventil
generátor:
40kHz/100 W, neomezeně variabilní
vakuová pumpa:
Leybold, Typ S1.5 (1.5m3/h)
nosič výrobků:
1 ks nosič výrobků
řízení:
poloautomatické řízení, procesní čas buď časovačem nebo automaticky
tlakový senzor:
Pirani
volitelné položky / příslušenství
|
PLASMA SYSTEM FEMTO UHP (version 12) :
Vývoj procesů, čištění, aktivace, leptání ( malé série )
Cena na vyžádání | |
| |
Zmíněné ceny jsou nezávazné
Prosím kontaktujte nás, jestliže máte technické dotazy.
|
| |
|
| |
|
|
|
